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真空泵、水环真空泵、2bv真空泵、2be真空泵、2sk真空泵、sk真空泵、szb真空泵诊断真空泵真空度的方法真空度常规故障排查法

目前，硅质板生产设备真空泵，采用的故障排查方式基本为排除法，步骤如下:

1、确定真空度仪表的准确性;

2、确保系统切断阀无泄露;

3、若故障为现象一的表现形式，则需对整个系统进行外泄露的检查;

4、若故障为现象二的表现形式，首先检查蒸汽、水等能源介质的各项参数值是否有异常，如无异常，检查各逆止阀，如无异常，作系统性能实验，河源真空泵，确定哪一级泵的性能有问题，检查该泵的喷嘴和蒸汽阀门。

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真空泵的维护保养：

一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔

内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用清洗，硅质板机械真空泵，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。 　

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　　在真空实用技术中，真空的获得和测量是两个重要的方面，在一个真空系统中，真空获得的设备和测量仪器是必不可少的。目前常用的真空获得设备主要有旋片式真空泵、油扩散泵、涡轮分子泵、离子溅射泵、升华泵等。真空测量仪器主要有u型真空计、热传导真空计、电离真空计等。随着电子技术和计算机技术的发展，各种真空获得设备向高抽速、高极限真空、无污染方向发展。

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